Vakuuma mērīšana ir svarīga vakuuma tehnoloģijas sastāvdaļa. Instrumentu, ko izmanto vakuuma pakāpes mērīšanai, sauc par vakuuma mērītāju.
Vakuuma krāsnīm un vakuuma kausēšanas krāsnīm parasti izmanto vakuuma mērītājus, piemēram, termopāra vakuuma mērītājus, jonizācijas vakuuma mērītājus utt. To darbības princips ir šāds:
(1) Termopāra vakuuma mērītājs
Termopāra vakuuma mērītājs sastāv no jutīgām sastāvdaļām, termopāra mērinstrumentiem un mērinstrumentiem. Termopāra mērītāja caurule ir savienota ar pārbaudīto vakuuma sistēmu ar stikla caurules ārējo apvalku un apkures vadiem un termopāra vadiem caurules iekšpusē. Temperatūras starpības dēļ starp termopāra stieples aukstajiem un karstajiem galiem ķēdē tiek ģenerēts termoelektriskais potenciāls. Ja sildīšanas stieples spriegums paliek nemainīgs, termopāra stieples potenciālu ierobežo sildīšanas stieples temperatūra, un sildīšanas stieples temperatūra ir saistīta ar izmērītās gāzes spiedienu. Zems spiediens, zema gāzes siltumvadītspēja, mazāk gāzes aiznestā siltuma, augstāka sildīšanas stieples temperatūra un palielināts termopāra stieples termoelektriskais potenciāls; Gluži pretēji, termoelektriskais potenciāls samazinās. Termoelektrisko potenciālu ķēdē mēra, izmantojot milivoltmetru, un milivolti skaitītājā atspoguļo vakuuma līmeni. Lai nodrošinātu apkures vada sprieguma stabilitāti, tika pieslēgts stabils barošanas avots. Tātad mērinstruments sastāv no milivoltmetra termoelektriskā potenciāla mērīšanai un regulējamas sildīšanas stieples stabilizētas barošanas avota.
(2) Jonizācijas vakuuma mērītājs
Šāda veida vakuuma mērītājus galvenokārt izmanto augsta vakuuma līmeņa mērīšanai. Zema spiediena un stiprās gāzēs pozitīvo jonu skaits, kas rodas, jonizējot gāzes molekulas, ir tieši proporcionāls gāzes spiedienam. Saskaņā ar dažādām jonizācijas metodēm vakuuma mērītāju, kas izmanto karsto katodu, lai emitētu elektronus, lai jonizētu gāzi, tiek saukts par karstā katoda jonizācijas vakuuma mērītāju; Starp tiem karstā katoda jonizācijas vakuuma mērītājs sastāv no karstā katoda mērinstrumenta un mērinstrumentiem. Mērinstruments sastāv no regulējamas darba barošanas avota, emisijas strāvas stabilizatora, jonu strāvas mērīšanas pastiprinātāja un citām sastāvdaļām. Karstā katoda jonizācijas mērītājs ir savienots ar pārbaudīto vakuuma sistēmu. Karstā katoda jonizācijas mērītājs ir tranzistors ar katodu, vārtiem un kolektoru iekšpusē. Savāc polāro potenciālu attiecībā pret katoda elektronnegatīvo potenciālu; Vārtiem ir pozitīvs potenciāls attiecībā pret katodu. Kad jonizācijas mērītājs tiek elektrificēts un uzkarsēts, katods izstaro elektronus, kas vārtu sasniegšanas procesā saduras ar gāzes molekulām, kā rezultātā notiek pozitīvo jonu un elektronu jonizācija. Ja emisijas strāva ir nemainīga, pozitīvo jonu skaits dienā ir tieši proporcionāls izmērītās gāzes spiedienam. Pēc tam, kad pozitīvos jonus savāc savākšanas elektrods un pastiprina mērīšanas ķēde, mēramais vakuuma pakāpi (kastes krāsns) var nolasīt ar indikācijas elektrisko skaitītāju.
(3) Kompozītmateriāla vakuuma mērītājs
Parasti zema un augsta vakuuma mērīšanai nevar izmantot vienu vakuuma mērītāju, bet jāizmanto salikts vakuuma mērītājs, biežāk tiek izmantoti jonizācijas un termopāra kompozītmateriālu vakuuma mērītāji. Tā mērījumu diapazons ir 13.33-666.6 × 10-8Pa. Zema vakuuma mērīšana pie (10-10-10-3) x 133,32 Pa, izmantojot termopāra vakuuma mērītāju; Jonizācijas vakuuma mērītājs mēra augstu vakuumu 133,32 × 10-3-666,6 × 10-8 Pa. Kompozītmateriāla vakuuma mērītājs ir aprīkots ar termopāra mērītāju un jonizācijas mērītāju, kas ir attiecīgi savienoti ar vakuuma sistēmu. Abus mērītājus var sildīt atsevišķi, izmantojot pogu, un tos var izvēlēties lietošanai.